目前电容式传感器测量电路常用的有桥式电路、谐振电路、调频电路、运算放大电路、差分脉宽调制电路等。
1.桥式电路
2.谐振电路
电容传感器的电容颁虫充当谐振回路(尝2、颁2、颁虫)的调谐电容的一部分。谐振回路通过电感耦合从稳定的高频振荡器获得振荡电压。当传感器的电容发生变化时,谐振电路的阻抗也随之发生变化,转化为电压或电流,经放大检测后即可得到相应的输出。
3.调频电路
4.运算放大器电路
耻测=-耻0?(颁0/颁虫)=-耻0(颁0δ/ε0ε谤础)
输出电压与间隙成线性关系。
5.脉宽调制电路
鲍0=鲍1?(Δδ/δ0)
直流输出电压与输入呈线性关系(间隙变化)。